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(来源:上观新闻)
“光刻🗾胶与设备:攻入日🇳🇪🇰🇭本的腹地👩💻🐤” 基板和MLC🎁🛷C是韩国🧝♀️👷♀️与日本🙈在零部件层面🍒🚂的竞争,但是在⚖光刻胶😞🇯🇲(PR😹)和核✨🇭🇰心设备领域的发力🥿⏏,则是👍🧿韩国针对 201👬9 年日韩💳🌩贸易摩擦🇳🇵👨👧👧的一次长达数4️⃣年的“反击战”🗃成果展示🚛🇧🇼。并且,设🇿🇼🥺备越多预计🎞🇩🇲结果越准确🏋。
但问题的根源🇺🇲远不止于此,它源🇮🇹于所选层材料的🌰特性、聚🤺🚇合物对🙇♀️🇮🇸固化和热循⏮🧀环的响应💆、铜密度梯度如⏫何改变堆🏸叠结构的刚度平🐷衡,以及每个🥋📅工艺步骤产👩⚖️生的残余应力如何🇿🇼在下一🎈个步骤🤟🖱开始前累积🎥🔐。原因已🇨🇱经很清楚了🀄。在光刻胶领域,🇦🇬日本长🇰🇭🐣期占据绝对主导🍱地位⚙🧜♂️。